Zu den wichtigsten Messgeräten für die Qualifikation- und Konformitätsprüfung im Bereich des ESD-Schutzes zählen Widerstandsmessgeräte wie das Metriso®3000 oder Metriso®B530 sowie Widerstandsprüfgeräte wie das SRM®200 oderSRM®110 . Diese Geräte dienen der Bestimmung von Oberflächen-, Punkt-zu-Punkt-, Ableit- und Erdungswiderständen Für die Überprüfung der Personenerdung kommen spezielle Prüfgeräte für Handgelenkbänder, Spiralkabel und ESD-Schuhe zum Einsatz, um die ordnungsgemäße Ableitung elektrostatischer Ladungen sicherzustellen, z. B. das PGT®130DT oder das PGT®120.COM. Zur Messung elektrostatischer Felder werden Elektrofeldmeter wie das EFM®51 verwendet. Ergänzend dazu dient ein Charged Plate Monitor (CPM), beispielsweise das Modell CPM54 Ionizer Tester, zur Überprüfung der Funktion von Ionisiergeräten. Hierbei misst man die Entladezeit einer aufgeladenen Platte von ± 1000 V auf ± 100 V und danach die sogenannte Offsetspannung.
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